Laserdurchstrahlfügen für Mikrosysteme und Halbleitertechnik

Bremen / BIAS Verl. (2009) [Beitrag zu einem Tagungsband]

4. Kolloquium Mikroproduktion : Fachbeiträge der vier SFB der Mikrotechnik ; Bremen, 28.-29. Oktober 2009 / SFB 747; SFB 516; SFB 499 Mikrourformen; SFB 440. Hrsg.: F. Vollertsen, S. Büttgenbach ...
Seite(n): 63-74

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Sari, Fahri
Flock, Dustin
Gillner, Arnold
Poprawe, Reinhart
Haberstroh, Edmund

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-172311