Characterization of ultra-thin layers in MOS-devices with XUV reflectometry

Jülich [u.a.] / Forschungszentrum [u.a.] (2009) [Buchbeitrag]

Annual Report '08 : JARA FIT ; Jülich Aachen Research Alliance for Fundamentals of Future Information Technology / Forschungszentrum Jülich. RWTH Aachen University. M. Morgenstern ; D. Grützmacher
Seite(n): 47-48

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Banyay, Matus
Juschkin, Larissa
Loosen, Peter
Roeckerath, M.
Schubert, J.

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-095577