Increasing productivity of ultrashort pulsed laser ablation for commercialization of micro structuring
Bellingham, Washington, USA / SPIE (2018) [Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband]
Nanoengineering: Fabrication, Properties, Optics, and Devices XV : 21-23 August 2018, San Diego, California, United States / Balaji Panchapakesan, Anne E. Sakdinawat, André-Jean Attias, Elizabeth A. Dobisz (editors) ; sponsored and published by: SPIE
Seite(n): 107300H
Autorinnen und Autoren
Ausgewählte Autorinnen und Autoren
Brenner, Andreas
Bornschlegel, Benedikt
Finger, Johannes
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1117/12.2319741
- REPORT NUMBER: RWTH-2018-231108