Extreme ultraviolet reflectometry for structural and optical characterization of thin films and layer systems

Aachen (2018) [Doktorarbeit]

Seite(n): 1 Online-Ressource (vi, 106 Seiten) : Illustrationen, Diagramme

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Tryus, Maksym

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-2018-221598