Ptychographic imaging with partially coherent plasma EUV sources

Berlin ; Boston, Mass / De Gruyter (2017) [Fachzeitschriftenartikel]

Advanced Optical Technologies
Band: 6
Ausgabe: 6
Seite(n): 459-466

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Biller, Jan
Odstrčil, Michal
Teramoto, Yusuke
Juschkin, Larissa

Identifikationsnummern