Characterization of pellicle membranes by lab-based spectroscopic reflectance and transmittance measurements in the extreme ultraviolet

SPIE (2017) [Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband]

[International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography, 2017-09-11 - 2017-09-14, Monterey, California, USA]

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Bahrenberg, Lukas
Danylyuk, Serhiy
Brose, Sascha
Pollentier, Ivan
Timmermans, Marina

Weitere Autorinnen und Autoren

Gallagher, Emily
Stollenwerk, Jochen Hugo
Loosen, Peter

Identifikationsnummern