Realisierung eines hochauflösenden EUV-Mikroskops mit einer optimierten Gasentladungsquelle zum Betrieb mit Wellenlängen um 17 nm zur Mikroskopie an M-Kanten von Elementen

Aachen (2017) [Doktorarbeit]

Seite(n): 193 Blätter : Illustrationen, Diagramme

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Freiberger, Ralf

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-2017-08548