Interference lithography with extreme ultraviolet light

Aachen (2016) [Doktorarbeit]

Seite(n): 1 Online-Ressource (149 Seiten) : Illustrationen, Diagramme

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Kim, Hyun-su

Identifikationsnummern

  • URN: urn:nbn:de:hbz:82-rwth-2017-028144
  • REPORT NUMBER: RWTH-2017-02814