Table-top EUV scatterometer MARYS with high-brightness discharge plasma source

Jülich / Forschungszentrum (2016) [Fachzeitschriftenartikel]

JARA-FIT annual report
Band: 2015
Seite(n): 149-150

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Maryasov, O.
Juschkin, Larissa

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-2017-00523