Ptychographic imaging with a tin plasma based EUV light source

Jülich / Forschungszentrum (2016) [Fachzeitschriftenartikel]

JARA-FIT annual report
Band: 2015
Seite(n): 147-148

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Bußmann, Jan
Odstrčil, M.
Bresenitz, R.
Teramoto, Y.
Juschkin, Larissa

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-2017-00520