Deposition and characterization of B4C/CeO2 multilayers at 6.x nm extreme ultraviolet wavelengths

Melville, NY / American Inst. of Physics (2016) [Fachzeitschriftenartikel]

Journal of applied physics
Band: 119
Ausgabe: 9
Seite(n): 095301

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Sertsu, Mewael Giday
Giglia, A.
Brose, Sascha
Park, Daniel E.
Wang, Z. S.

Weitere Autorinnen und Autoren

Mayer, Joachim
Juschkin, L.
Nicolosi, P.

Identifikationsnummern