Lensless Proximity EUV Lithography with a Xenon Gas Discharge Plasma Radiation

Cham ; s.l / Springer International Publishing ; Imprint: Springer (2016) [Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband]

X-ray lasers 2014 : proceedings of the 14th International Conference on X-Ray Lasers / Jorge Rocca; Carmen Menoni; Mario Marconi, eds.
Seite(n): 313-319

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Kim, Hyun-su
Danylyuk, Serhiy
Brose, Sascha
Loosen, Peter
Bergmann, Klaus

Weitere Autorinnen und Autoren

Brocklesby, William S.
Juschkin, Larissa

Identifikationsnummern