Irradiation of low energy ions damage analysis on multilayers

Bellingham, Wash / SPIE (2015) [Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband]

Damage to VUV, EUV, and X-ray optics V : 15 - 16 April 2015, Prague, Czech Republic ; [part of SPIE optics + optoelectronics] / sponsored by SPIE. Libor Juha ..., ed.
Seite(n): 95110P, 8 S.

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Sertsu, M. G.
Giglia, A.
Juschkin, Larissa
Nicolosi, P.

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