Extreme ultraviolet proximity lithography for fast, flexible and parallel fabrication of infrared antennas

Washington, DC / Optical Society of America (2015) [Fachzeitschriftenartikel]

Optics express
Band: 23
Ausgabe: 20
Seite(n): 25487-25495

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Kunkemöller, Georg
Maß, Tobias Wilhelm Wolfgang
Michel, Ann-Katrin U.
Kim, Hyun-Su
Brose, Sascha

Weitere Autorinnen und Autoren

Danylyuk, Serhiy
Taubner, Thomas
Juschkin, Larissa

Identifikationsnummern