Multi-angle spectroscopic extreme ultraviolet reflectometry for analysis of thin films and interfaces

Berlin / Wiley-VCH (2015) [Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel]

Physica status solidi / C
Band: 12
Ausgabe: 3
Seite(n): 318-322

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Danylyuk, Serhiy
Herbert, Stefan
Loosen, Peter
Lebert, Rainer
Schäfer, Anna

Weitere Autorinnen und Autoren

Schubert, Jürgen
Tryus, Maksym
Juschkin, Larissa

Identifikationsnummern