Diffraction-assisted extreme ultraviolet proximity lithography for fabrication of nanophotonic arrays

New York, NY / American Institute of Physics [u.a.] (2013) [Fachzeitschriftenartikel]

Journal of vacuum science & technology : JVST / B
Band: 31
Ausgabe: 2
Seite(n): 021602

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Danylyuk, Serhiy
Kim, Hyun-su
Brose, Sascha
Dittberner, Carsten
Loosen, Peter

Weitere Autorinnen und Autoren

Taubner, Thomas
Bergmann, Klaus
Juschkin, Larissa

Identifikationsnummern