Laser transmission bonding of silicon to silicon with metallic interlayers for wafer-level packaging

Berlin [u.a.] / Springer (2012, 2013) [Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel]

Microsystem technologies
Band: 19
Ausgabe: 5
Seite(n): 669-673

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Wissinger, Ansgar
Olowinsky, Alexander
Gillner, Arnold
Poprawe, Reinhart

Identifikationsnummern