Broadband transmission masks, gratings and filters for extreme ultaviolet and soft X-ray lithography

Amsterdam [u.a.] / Elsevier (2012) [Fachzeitschriftenartikel]

Thin solid films
Band: 520
Ausgabe: 15
Seite(n): 5080-5085

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Brose, Sascha
Danylyuk, Serhiy
Juschkin, Larissa
Dittberner, Carsten
Bergmann, Klaus

Weitere Autorinnen und Autoren

Moers, Jürgen
Panaitov, Gregory
Trellenkamp, Stefan
Loosen, Peter
Grützmacher, Detlev

Identifikationsnummern