Angular ion emission characteristics of a laser triggered tin vacuum arc as light source for extreme ultraviolet lithography

Melville, NY / AIP (2010) [Fachzeitschriftenartikel]

Journal of applied physics
Band: 108
Ausgabe: 9
Seite(n): 093304

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Verbraak, Harald
Küpper, Felix Alexander
Jonkers, Jeroen
Bergmann, Klaus

Identifikationsnummern