Compact extreme ultraviolet reflectometer for the characterization of grazing incidence optics based on a gas discharge light source

Melville, NY / AIP (2005) [Fachzeitschriftenartikel]

Review of scientific instruments : RSI
Band: 76
Seite(n): 104-109

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Bergmann, Klaus
Rosier, Oliver
Metzmacher, Christof

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