Manufacture of high-aspect-ratio micro-hair sensor arrays

Bristol / IOP Publ. (2005) [Fachzeitschriftenartikel]

Journal of micromechanics and microengineering
Band: 15
Ausgabe: 10
Seite(n): 1904-1910

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Schmitz, Georg J.
Brücker, Christoph
Jacobs, P.

Identifikationsnummern