Spectral sharpening algorithm for a polychromatic reflectometer in the extreme ultraviolet

Frederick, Md / Society for Applied Spectroscopy (2010) [Fachzeitschriftenartikel]

Applied spectroscopy
Band: 64
Ausgabe: 4
Seite(n): 401-408

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Banyay, Matus
Juschkin, Larissa

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-015307