High speed and high precision Fs-laser writing using a scanner with large numerical aperture

Osaka / Japan Laser Processing Society (2009) [Fachzeitschriftenartikel]

Journal of laser micro/nanoengineering
Band: 4
Ausgabe: 3
Seite(n): 192-196

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Gottmann, Jens
Hörstmann-Jungemann, Maren
Hermans, Martin
Beckmann, Dennis

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-013982