3D-Microstructuring of sapphire using fs-laser irradiation and selective etching

Osaka / Japan Laser Processing Society (2010) [Fachzeitschriftenartikel]

Journal of laser micro/nanoengineering
Band: 5
Ausgabe: 2
Seite(n): 145-149

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Hörstmann-Jungemann, Maren
Gottmann, Jens
Keggenhoff, Martin

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