Influence of pulse duration in picosecond laser ablation of silicon nitride layers

Amsterdam [u.a.] / Elsevier (2011) [Beitrag zu einem Tagungsband]

Proceedings of the SiliconPV 2011 Conference (1st International Conference on Crystalline Silicon Photovoltaics) / ed. by S. Glunz ...
Seite(n): 614-619

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Schulz-Ruhtenberg, Malte
Trusheim, Daniel
Das, Jo
Krantz, Stephan
Wieduwilt, Jan

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