Compact laboratory EUV-lamps : 'In-house beamlines' for technologies based on extreme ultraviolet radiation

Berlin [u.a.] / Springer (2004) [Beitrag zu einem Tagungsband]

MicroNano integration : [International Forum on MicroNano Integration, held in Potsdam, Germany on December 3 - 4, 2003] / Harald Knobloch; Yvette Kaminorz (ed.)
Seite(n): 259-261

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Lebert, Rainer
Jägle, Bernhard
Juschkin, Larissa
Wies, Christian
Neff, Willi

Weitere Autorinnen und Autoren

Barthel, Juri
Walter, Konstantin
Bergmann, Klaus
Schürmann, Max Christian
Mißalla, Thomas

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-188381