Thermal process control for laser radiation bonding of silicon and glass

Amsterdam [u.a.] / Elsevier (2005) [Beitrag zu einem Tagungsband]

4M2005, First International Conference on Multi-Material Micro Manufacture, 29 June - 1 July 2005, Forschungszentrum Karlsruhe, Karlsruhe, Germany / organised by: FP6 4M Network of Excellence. Ed. by: Wolfgang Menz ...

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Sari, F.
Gillner, A.
Poprawe, Reinhart
Rupf, M.

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-188092