XUV metrology: Surface analysis with Extreme Ultraviolet Radiation

Bellingham, Wa / SPIE (2009) [Beitrag zu einem Tagungsband]

Damage to VUV, EUV, and x-ray optics II : 21 - 23 April 2009, Prague, Czech Republic / sponsored by SPIE Europe. Libor Juha ..., ed.
Seite(n): 736113, 12 S.

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Banyay, Matus
Juschkin, Larissa
Bücker, Thomas
Loosen, Peter

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